真空脫氣超聲波清洗機的具體工藝為：清洗時首先在常壓下把被清洗的物體投入到清洗液中，待清洗液滲透到工件的細孔或深孔中，然后進行真空脫氣處理，在減壓抽真空過程中，促使清洗液中溶解的微小氣泡隨著氣壓的降低，在細孔中膨脹，進而把污垢一同帶出，然后在真空狀態(tài)下，啟動超聲波發(fā)生裝置，利用超聲波在脫氣后的清洗液中良好的清洗能力剝除污垢。然后開動循環(huán)泵使清洗液在真空狀態(tài)下，發(fā)生循環(huán)流動并通過過濾器把污垢吸附清除。為提高清洗效果還可以反復進行減壓脫氣和恢復到常壓狀態(tài)的循環(huán)操作，以提高超聲波的傳送效率和增強對污垢的剝離效果。